AMHS for
Semiconductor FAB
半導体工場向け搬送システム
半導体ができるまで
材料となるシリコンウエハに様々な加工をほどこし、チップとして切り出して半導体部品が完成します。チリやホコリを発生させないクリーン環境下では、加工装置の間で材料を搬送するのも人が介在せずに行う必要があり、自動搬送システムが活躍しています。
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半導体工場内の
自動搬送システム(モデル)
製造工場内に緻密にレイアウトされた加工装置に材料を供給するため、天井に張り巡らされたレールを搬送台車が走行します。複層レールを組み合わせたり、階をまたぐ搬送を行ったりと、とても複雑なシステムです。
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OHT
OHTとはOverhead Hoist Transportの略です。300mmウエハ半導体工場の主力搬送システムとして広く認知されており、現在では工程内搬送のみに留まらず工程間や工場間搬送にまで利用されているケースもあります。
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Stocker
クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収するためなどの目的で配置されます。
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Muratec Clean FA Business
ムラテックのクリーンFA 事業
半導体製造業界では、通信の高速化やPC・家電製品の高性能化・高機能化などにより、より一層の性能・品質そして生産性の向上を求められています。ムラテックは、長年培ってきた保管・自動搬送システムの技術力により、半導体製造工程の効率化に寄与するソリューションをトータルで提供しています。ハードウエア・ソフトウエアの開発・設計から、製造・据付・アフターサービスまで一貫して提供し、世界中の半導体メーカーをトータルにサポートします。
沿革
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1985年
村田機械(株)物流システム事業部(現L&A事業部)内にクリーン部技術部発足
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1986年
クリーンルーム対応天井走行搬送システム「スカイラブクリーン」開発
1986年・スカイラブクリーン
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1989年
多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発
1989年・モービルロボット
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1994年
液晶パネル工場向け搬送システムを納入
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1997年
クリーンシステム事業部設立
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1998年
世界初の300mmウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注
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2002年
(Asyst Technologies, Inc(米国)と神鋼電機(株)(現 シンフォニアテクノロジー)の半導体搬送部門で合弁・アシストシンコー(株)設立)
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2003年
OHT「SRCシリーズ」開発スタート
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2007年
(アシストシンコー(株)がアシストテクノロジーズジャパン(株)に社名変更)
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2009年
アシストテクノロジーズジャパン(株)より事業譲受、クリーンシステム事業部と統合し、
ムラテックオートメーション(株)設立
装置前FOUPバッファ「TS300」発売2009年・TS300
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2012年
ムラテックオートメーション(株)を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立
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2014年
FOUPストッカ「CDS350-M3」発売
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2015年
OHT(天井走行式無人搬送車)「G3-3X」発売
2015年・G3-3X
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2017年
OHT(天井走行式無人搬送車)「SRC-350X」発売
2017年・SRC-350X
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2018年
伊勢事業所を移転
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2019年
ベアウエハストッカー「CDWX」発売
1986年・スカイラブクリーン
1989年・モービルロボット
2009年・TS300
2015年・G3-3X
2017年・SRC-350X
半導体向け搬送システムの機器構成(モデル)
半導体製造工場では数百におよぶ工程間の搬送時間が生産量および歩留まりに大きく影響するため、搬送システムの徹底的な効率化が求められます。工場内を効率よくレイアウトするため、お客さまの要望に基づいて搬送機器の組み合わせや配置を検討し、最適な制御システムを構築しています。現在の主流である300mmウエハの搬送装置は空間を有効活用できる天井搬送が主流であり、納入システムのほとんどがOHT と保管装置(ストッカ)で構成されています。
ムラテックのクリーンFA 事業の強み
クリーン環境/一般礫境向け搬送システムをはじめ、産業機械、OA機器など多彩な事業を展開するムラテックでは、プラットフォーム技術やICT技術の開発を担う共通の研究開発部門と事業部の技術開発部門とが、役割を分担しつつシナジーを高めながら製品開発を行っています。この体制により、日々進化する半導体製造業のお客さまの課題解決を実現する、スピーディーで付加価値の高いソリューション提供が可能です。
Message
Interview Movie
クリーンFA事業部長
村田 三平
社会を支える
半導体産業の一翼を担う
ムラテックの搬送システム
10年後には100兆円規模に成長すると予測されている半導体市場。ムラテックは、半導体の製造工場向け搬送システムの分野で30年を超えるノウハウを持ち、40%超のシェアを得ています。
搬送システムは、人体に例えれば血管の役割を果たす工場内物流を担う設備で、あらゆる産業の根幹となる半導体のモノづくりを止めないための高い品質と安定性が求められています。社会を支える半導体産業の一翼を担っているという気概をもって、仕事に向き合っています。
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クリーンFA事業部 技術統括部長
細淵 英治
技術の融合で
イノベーションを
生み出す
搬送システムの開発は、機械・電気・ソフトウェアの技術分野が融合して成り立っています。機械分野では、生産設備の一端としていかにコンパクトに設計できるか、振動などの解決課題にいかに向き合うかが大きなテーマです。電気・電子分野では信頼性の高い電気供給や通信の技術、ソフトウェア分野ではモノを動かすための組込み技術、システム全体を効率よく稼働する制御ソフトの開発が必要とされています。
今後はAIを駆使し、膨大な搬送距離と台車数からなる全体システムを渋滞なくスムーズに運ぶ制御も重要になってきます。どの分野からも能力を発揮でき、良いアイデアはどんどん採用していきます。新たなイノベーションを生みだす技術者のやりがいを応援します。
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クリーンFA事業部 工事部長
桂田 真澄
世界各地の最先端工場の
立ち上げに関わり
大きく成長できるのが醍醐味
半導体工場における搬送システムの施工は、台車が1000台以上入る大きな物件でも約半年で完成させる必要があり、スピード感が求められます。工事全体に責任を持つ施工管理は規模が大きいだけに関わる関係者も多く、問題解決していくのは非常に困難ですが、関係者一丸となって乗り越え完成したときの達成感は非常に大きなものがあります。世界各地の最先端工場の施工管理を通して、人間として大きく成長できることが醍醐味です。サポート体制が整っており、異業種・異職種からでも活躍していただけます。