搬送装置【搬送制御・管理システム】

半導体工場内の搬送・保管装置を統括制御する自動搬送装置統合管理システムです。

MCS（Material Control System）
工場内のあらゆる搬送・保管を各種搬送装置に指示、システム内の搬送物のトラッキングを実現するなど、お客様の様々なニーズにフレキシブルに対応します。

MDS（Material Dispatching System）
　[MESに対して複数FABを一つに見せる]
　・MESからの搬送要求を各MCSに振り分ける役割
　・各MCSの報告を中継しMESへ報告
　[棟間搬送]
　・ MESは各MCSを意識せず搬送要求が可能
　・複数の棟間接続経路を選択し、MCSを跨ぐ搬送が可能
　・ 棟間搬送のために追加のMES設置やキャリア情報の受け渡しは不要
　[システム間の通信]
　・CORBA通信を使用してMESおよび下位MCSと接続