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半導体工場向け搬送システム 【保管・バッファ装置】
キャリア保管ストッカー
クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収することを目的とします。
クリーンストッカー【CDS350-M3】
・高い信頼性とサイクルタイム向上
・メンテナンス性向上
・デュアルクレーンに対応可能
・コンベアによる複雑なポート構成に対応 |
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タワーストッカー【TW3】
・階間搬送
・高速昇降
・短時間での据付
・コンベヤによる複雑なポート構成に対応 |
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