製品情報
- 搬送装置
- 保管・バッファ装置
- キャリア保管ストッカー
- ベアウエハストッカー
- OHB軌道バッファ
- 装置前FOUPバッファ
- N２パージ
- 搬送制御・管理システム
搬送装置【保管・バッファ装置】
ベアウエハストッカー CDWX
ウエハを専用ケース（セル）で高密度に保管
| CDWXはFOUPからウエハを取り出し、専用のケース（セル）で高密度に保管するシステムです。ウエハをハンドリングロボットで専用のリングに一枚ずつセットし、25枚のリングを１つのセルとして棚で保管。リング形状を工夫することで保管時のセル内のウエハの間隔を約3.7mmとし、ウエハの搬送容器であるFOUP（ウエハの間隔＝10mm）と比較して高密度での保管が可能です。 |
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CDWXの特徴
セルは、リングへのウエハのセット時や取り出し時は、リングの上下ピッチを拡げた状態で行い、作業終了後にセルのピッチを元に戻すことで、ハンドリングロボットによる作業性と保管時の省スペースを両立しています。 |
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高密度保管 ウエハのピッチをFOUP比で約6割削減 |
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高クリーン度 最小空間に理想的なウエハ保管環境（クリーン／パージ）を実現 |
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メンテナンス性 装置稼働中にウエハセルをExchange Portから出庫可能 |
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| 出庫されたウエハセルは、専用治具に入れ、FOUP洗浄機で洗浄が可能 |  |
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フレキシブルなシステム仕様 |  |
CDWX システム仕様
| 床面積 | 約 9.8 m² |
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| 保管枚数 | 1,725-4,325枚（～最大20,825枚） |
| 機械寸法 | W：3,038 mm（～最大10,200mm） |