搬送装置【搬送装置】

HTC（High-Throughput Conveyor　高速コンベア）

FOUPの大量搬送に対応するコンベアシステムです。ユニットの組み合わせによりレイアウトの自由度が高く、OHTやVertical Conveyorにも接続可能。
また、すべてのキャリアの位置を常時監視することより、キャリアロスを発生させません。