事業沿革
クリーンFA事業の沿革
1985年 | 物流システム部(現L&A事業部)内にクリーン技術部発足 |
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1986年 | 「スカイラブクリーン」開発
クリーンルーム向け搬送機器分野に参入 |
1989年 | 多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発 |
1993年 | 液晶パネル工場向け搬送システムを納入 |
1997年 | クリーンシステム事業部設立 |
1998年 | 世界初300mmウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注 |
2002年 | 物流システム事業部とクリーンシステム事業部を統合し、L&A事業部を設立 |
2002年 | 神鋼電機(現シンフォニアテクノロジー)のクリーンルーム向け搬送システム事業が独立、米アシストテクノロジーズ社と共同で「アシストシンコー(株)」設立 |
2003年 | OHT「SRCシリーズ」開発スタート |
2009年 | アシストテクノロジーズジャパン(株)より事業譲受 クリーンシステム事業部と統合し「ムラテックオートメーション(株)」を設立 |
2009年 | 装置前FOUPバッファ「TS300」発売 |
2012年 | ムラテックオートメーション(株)を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立 |
2014年 | 犬山事業所内に実験・ショールーム棟「テクノスクエア」完成 |
2015年 | OHT(天井走行式無人搬送車)「G3-3X」発売 |
2017年 | OHT(天井走行式無人搬送車)「SRC-350X」発売 |
2018年 | 伊勢事業所を移転 |
2019年 | ベアウエハストッカー「CDWX」発売 |